半導體潔凈室溫濕度監測的重要性

半導體潔凈室溫濕度監測的重要性

潔凈室是指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓差、噪聲等參數都需要進(jìn)行控制的密閉空間。許多精密加工行業(yè)、半導體、芯片、醫學(xué)手術(shù)室、電子設備、航天、制藥、生物實(shí)驗室行業(yè)等都需要潔凈室。比如醫學(xué)行業(yè)主要是為了防止病jun、細jun、灰塵對病人手術(shù)過(guò)程中造成感染；溫濕度對于精密儀器儀表產(chǎn)品的精確程度有很大影響。

        半導體制造潔凈室對溫濕度的要求一般是溫度處于22-28℃ ，濕度在30-50 RH（%）之間。潔凈室運作過(guò)程中對相對濕度環(huán)境控制尤為常見(jiàn)。因為相對濕度會(huì )對潔凈室總體表現下降有較大影響，比如加速細jun繁殖；人體舒適感不佳，人的汗液可能污染半導體產(chǎn)品；出現靜電荷；加快金屬fu蝕生銹；水汽冷凝污染半導體表面的清潔度；光刻的退化；影響光刻膠附著(zhù)能力等。

         因此，對于半導體潔凈室的溫濕度控制尤為重要?，F在的半導體潔凈室系統都會(huì )嚴格控制溫濕度、空氣潔凈度和壓差程度等，在室內安裝不同的溫濕度傳感器、壓差傳感器等，做到實(shí)時(shí)監測、實(shí)時(shí)控制。蘇州宏瑞凈化研發(fā)生產(chǎn)的溫濕度變送器傳感器、手持式溫濕度儀、壓差計等產(chǎn)品應用于各種生物實(shí)驗室、制藥車(chē)間、潔凈室的溫濕度監測。

        不同的潔凈室對于溫濕度的要求是不同的，主要是根據加工使用的產(chǎn)品本身的特性來(lái)考量。但是有一點(diǎn)，溫濕度不管在任何行業(yè)，作為一個(gè)環(huán)境因素發(fā)揮著(zhù)重要的影響力。我們總是運用各種手段進(jìn)行溫濕度數據監控，以便達到我們的理想狀態(tài)。

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的介紹，我司作為自主研發(fā)生產(chǎn)30年的生產(chǎn)廠(chǎng)家，可按10萬(wàn)級和100萬(wàn)級等潔凈級別的半導體車(chē)間標準要求及國家GMP規范要求為電子、生物醫藥、醫院手術(shù)室、光纖光纜、食品飲料、精密儀器、半導體及新材料應用等行業(yè)提供全系列的檢測儀器和技術(shù)支持，如實(shí)時(shí)監測時(shí)所需的“潔凈環(huán)境在線(xiàn)監測系統"，不定時(shí)檢測時(shí)的“風(fēng)量罩"“壓差儀"“塵埃粒子計數器"“浮游菌采樣器"等。